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維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服務：擁有一批技術人才，進口品牌射頻電源工程技術支持，消化吸收國外技術基礎上發展，鍛煉培養十幾名的維修工程師。測試儀器設備，以及豐富的圖紙技術資料。

服務品牌：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。

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