主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射頻電源及直流電源 。同時(shí)為各地區(qū)的半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業(yè)提供級射頻電源維修保養(yǎng)。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護(hù)服務(wù)。
服務(wù)品牌：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。

維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服務(wù)：擁有一批技術(shù)人才，進(jìn)口品牌射頻電源工程技術(shù)支持，消化吸收國外技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名的維修工程師。測試儀器設(shè)備，以及豐富的圖紙技術(shù)資料。

美國維易科(Veeco)儀器 ENI RFC-5 RF RF射頻電源，高壓電源維修 ENI OEM-12A RF Generator射頻電源 控制器 匹配器維修

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