3150017-009 SE 118 0920-01036維修 ULVAC RFS-2780A 27.12MHz 8kW RF GENERATOR愛發(fā)科射頻電源維修
美國維易科(Veeco)儀器 ENI RFC-5 RF RF射頻電源，高壓電源維修 ENI OEM-12A RF Generator射頻電源 控制器 匹配器維修

維修品牌：ASTEC（雅達(dá)）、日本COSEL （科索）、LAM（泛林）、APPLIED AMAT(應(yīng)用材料）、美國AE電源(MDX、MDX II、

pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、 美國ENI電源（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德國Singulus電源等。

服務(wù)品牌：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。


維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服務(wù)：擁有一批技術(shù)人才，進(jìn)口品牌射頻電源工程技術(shù)支持，消化吸收國外技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名的維修工程師。
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